Browsing by Author "Малинич, С. З."

Filter results by typing the first few letters
Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Item
    Функціонально інтегровані графен-сенсори на основі поєднання магнітних та теплових методів
    (Видавництво Львівської політехніки, 2019-02-26) Петровська, Г. А.; Яремчук, І. Я.; Малинич, С. З.; Бобицький, Я. В.; Petrovska, H.; Yaremchuk, I.; Malynych, S.; Bobitski, Ya.; Національний університет “Львівська політехніка”; Lviv Polytechnic National University
    Подано оптимізовану технологію виготовлення методом фотостимульованого травлення напівпровідників поверхневої дифракційної решітки. Це дає змогу отримати решітки з контрольованим періодом та глибиною поверхневої модуляції. Проведено математичне моделювання синусоїдальних рельєфних решіток на поверхні GaAs. Крім того, оптимізовано їх параметри. Обрано оптимальні періоди решіток. Отримано залежності ефективності дифракції від поверхні модуляції рельєфу для різних довжин хвиль. Встановлено, що максимальна ефективність решітки спостерігається при відношенні глибини поверхні рельєфу до періоду, який приблизно дорівнює 1:10. Для запису рельєфних решіток використовували лазер Nd: YAG на другій гармоніці (532 нм) з максимальною потужністю 100 мВт. Для вивчення рельєфу решіток був використаний атомно-силовий мікроскоп. Показано, що легування GaAs телуром призводить до сильного розвитку морфології поверхні та більшої глибини модуляції поверхні напівпровідника.