Browsing by Author "Danylov, A. B."

Filter results by typing the first few letters
Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Item
    Щодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції
    (Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005-03-01) Данилов, А. Б.; Danylov, A. B.; Національний університет “Львівська політехніка”
    Встановлено кореляцію між показником заломлення плівки, її товщиною та коефіцієнтом поглинання підкладки для структури “прозора плівка на поглинальній підкладці” для довжини хвилі 632,8 нм. Проаналізовано кути падіння для меж поділу середовищ повітря–плівка та плівка–підкладка, за яких спектри відбиття в рполяризації не залежать від товщини плівки. Запропоновано новий підхід до визначення показника заломлення плівки з еліпсометричних вимірювань трьох зразків з різною товщиною плівки.