Browsing by Author "Kogut, Igor"

Filter results by typing the first few letters
Now showing 1 - 2 of 2
  • Thumbnail Image
    Item
    Accelerometer sensing element based on nanostructured silicon
    (Publishing House of Lviv Polytechnic National University, 2013) Druzhynin, Anatoliy; Kogut, Igor; Golota, Viktor; Khoverko, Yuriy
    In this work we consider sensing elements of an accelerometer which is made using the combined technologies of silicon-on-insulator (SOI) structures and silicon nanocrystals whiskers manufacturing. On their basis a quick-response, high sensitive to acceleration and displacement device with submicrometer and nanometer typological sizes has been designed. This enabled us to create, on its basis, both a discrete device and an element of integrated nanoelectromechanical element silicon-on- insulator structures, which provides control of displacement up to 200 nm. У роботі розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-а-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими та нанометрровими топологічними розмірами. Це дало можливість реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних систем зі структурою кремній-на-ізоляторі, який за безпечує контроль переміщення з точністю до 200 нм.
  • Thumbnail Image
    Item
    CMOS image sensor on microcavities and local SOI-structures
    (Видавництво Львівської політехніки, 2012) Druzhinin, Anatolij; Holota, Victor; Kogut, Igor; Dovgyj, Victor; Khoverko, Yuriy
    The structure of sensor images on "silicon-oninsulator"local structures is proposed and possibility of monolithic integration of sensing elements and signal processing systems is shown.