Browsing by Subject "621.793.1"
Now showing 1 - 3 of 3
- Results Per Page
- Sort Options
Item Вплив розподілу струму розряду по катоду комірки Пеннінга на рівномірність напилених плівок(Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005-03-01) Шандра, З. А.; Shandra, Z. A.; Національний університет “Львівська політехніка”Подано результати дослідження розподілу струму розряду по поверхні катода в комірці Пеннінга з прямокутним анодом. Виявлено, що при тиску газу близько 0,01 Па максимальна густина струму спостерігається в центрі катода. У разі збільшення тиску газу зростає густина струму на периферії катода. Розподіл струму по висоті катода можна апроксимувати функцією Jp(h) = n +(1-n) sin(πh/a), де а – розмір катода. Виконано моделювання впливу розподілу струму на рівномірність напилених плівок для різних тисків газу. Аналіз показує, що нерівномірність струму по катоду погіршує рівномірність плівок по товщині на краях підкладки.Item Дослідження коливань струму газового розряду в комірці Пеннінга з секційним анодом(Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2002) Захарків, А. Б.; Шандра, З. А.; Національний університет "Львівська політехніка"Подано результати досліджень коливань електричного струму в комірці Пеннінга з секційним анодом. Виявлено генерацію коливань частотою 2 МГц при подачі на секцію анода від’ємного потенціалу. Досліджено вплив потенціалу секції та розрядного струму на амплітуду коливань, пропонується механізм виникнення коливань. This work is dedicated to studies of the oscillations of electric current in penning’s cell with sectional anode. The oscillation generation with frequency 2 MHz at applying of negative potential on anode section is detected. The influence of section potential magnitude and discharge current on oscillation magnitude is studied and the mechanism for oscillation origin is proposed.Item Характеристика відбивного розряду в комірці Пеннінга з секційним анодом(Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2001) Шандра, З. А.; Національний університет “Львівська політехніка”У роботі досліджено розряд в комірці Пеннінга, в якій секційний анод розташований по центру розрядного проміжку між двома круглими катодами. Показано, що зміною потенціалу секцій анода можна впливати на вид вольт- амперної характеристики розряду. Проведено дослідження розподілу потенціалу між електродами комірки Пеннінга для різних підключень секцій анода, на основі яких зроблена спроба опису механізму розряду та пояснення особливостей його вольт-амперної характеристики. This work is dedicated to studies of the discharge in Penning's cell, in which sectional anods is placed in the centre of discharge gap between two round cathodes. It is shown, that by anode sections potential varying it is possible to influence on volt¬ampere characteristic of the discharge. The studies of potential disribution between the cell electrodes were carried out for different connections of anode sections. On the base of this studies the attempt to discribe the discharge gear and to explain the features of volt-ampere characteristics.