Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску - Новосядлий, С. (Видавництво Національного університету «Львівська політехніка», 2000)
Для зниження дефектності функціональних шарів структур ВІС розроблена силанова технологія низькотемпературного осадження плівок в реакторах зниженого тиску типу “Ізотрон-3”. Досліджено умови формування легованих плівок полікремнію, нітриду (оксинітриду) кремнію, фосфоро- та борофосфоросилікатного скла і дисиліцидних плівок титана на основі аморфного кремнію, які забезпечують як низьку дефектність, так і високу швидкість росту.