Новосядлий, С.2017-04-102017-04-102000Новосядлий С. Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску / С. Новосядлий // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 398 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – C. 35–441. – Бібліографія: 7 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/37246Для зниження дефектності функціональних шарів структур ВІС розроблена силанова технологія низькотемпературного осадження плівок в реакторах зниженого тиску типу “Ізотрон-3”. Досліджено умови формування легованих плівок полікремнію, нітриду (оксинітриду) кремнію, фосфоро- та борофосфоросилікатного скла і дисиліцидних плівок титана на основі аморфного кремнію, які забезпечують як низьку дефектність, так і високу швидкість росту.uaArticle