Семенистий, АрсенСтадник, БогданСкоропад, Пилип2010-12-022010-12-022007Семенистий А. Модифікація структурного стану чутливих елементів тонкоплівкових термоперетворювачів / Семенистий Арсен, Стадник Богдан, Скоропад Пилип // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник / Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор Б. І. Стадник. – Львів : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2007. – Випуск 67. – С. 61–65. – Бібліографія: 27 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/6508Проаналізовано можливості модифікації структурного стану тонкоплівкових термоперетворювачів та визначено основні критерії вибору матеріалів для їхнього виготовлення. Проанализированы возможности модификации структурного состояния тонкопленочных термопреобразователей и определены основные критерии выбора материалов для их изготовления. Possibilities of modification of the structural state of thin-films thermoelements are analysed and certained the basшс criteria of choice of materials for their making.uaМодифікація структурного стану чутливих елементів тонкоплівкових термоперетворювачівArticle