Bibikov, ТarasBogdan, OleksandrPetrishev, OlegYakymenko, YuriyBogdan, Tetiana2011-02-142011-02-142010The frequency characteristic Of MEMS beam resonator / Тaras Bibikov, Oleksandr Bogdan, Oleg Petrishev, Yuriy Yakymenko, Tetiana Bogdan // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 363. – Bibliography: 1 title.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7399In this paper the model of the MEMS (microelectromechanical systems) beam resonator.enMEMSresonatorfrequency CharacteristicArticle