Novosyadly, StepanSorokhtej, Taras2011-02-102011-02-102010Novosyadly S. Method of research of electro-physical characteristics of semiconductor structures / Stepan Novosyadly, Taras Sorokhtej // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 351. – Bibliography: 2 titles.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7377In this paper the models defect in GaAs with multicharge implantation are given.enmulticharge implantationclusterporescracksdislocationMethod of research of electro-physical characteristics of semiconductor structuresArticle