Holovatyy, А.Teslyuk, V.Panchak, R.Koshyrets, S.2016-02-242016-02-242015Mathematical modelling and simulation of the mechanical component of the fully differential capacitive mems accelerometer using matlab/simulink environment / А. Holovatyy, V. Teslyuk, R. Panchak, S. Koshyrets // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 20–26. – Bibliography: 12 titles.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31386Розроблено імітаційну модель механічної компоненти повністю диференційного ємнісного МЕМС акселерометра в середовищі MATLAB/Simulink. Модель дає змогу моделювати переміщення робочої маси, зміну ємностей вимірювальних конденсаторів чутливого елемента, чутливість мікродавача від прикладеного прискорення, а також проводити часовий аналіз інтегрального пристрою на системному рівні проектування. Simulation model of the mechanical component of the fully differential capacitive MEMS accelerometer has been developed using MATLAB/Simulink environment. The model allows to simulate movement of the proof mass, capacitance changes of the sense capacitors of the sensitive element, sensitivity of the sensor depending on the applied force of acceleration, and to perform the transient analysis of the integrated device at the system level of computeraided design.enМікроелектромеханічні системи (МЕМС)повністю диференційний ємнісний МЕМС акселерометерприскоренняматематичне моделюванняімітаційна модельповедінковий аналізСАПРMATLAB/SimulinkMicroelectromechanical systems (MEMS)fully differential capacitive MEMS accelerometeraccelerationmathematical modelingsimulation modeltransient analysisArticle