Павлиш, ВолодимирДанчишин, ІгорКорж, РоманВишняков, Дмитро2017-05-152017-05-152001Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин / Володимир Павлиш, Ігор Данчишин, Роман Корж, Дмитро Вишняков // Вісник Державного університету «Львівська політехніка». – 2001. – № 428 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 228–233. – Бібліографія: 7 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/38055Запропоновано автоматизований метод та конструкцію пристрою для оптичного контролю поверхневої дефектності базових шарів ІС. The automation technique and construction of the device for IC’s basic layer surface defectivity optical control are proposed at present paper.uaArticle