Шандра, З. А.2016-01-282016-01-282004Шандра З. А.Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга / З. А. Шандра // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 82–86. – Бібліографія: 6 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31152Подано результати моделювання напилення тонких плівок в комірці Пеннінга з секційним анодом, визначено вплив геометрії пристрою розпилення на рівномірність плівок по товщині. In this work give the optimization of sputtered film thickness distribution on planar surfaces results for Penning’s cell.uaArticle