Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга - Шандра, З. А. (Видавництво Національного університету «Львівська політехніка», 2004)
Подано результати моделювання напилення тонких плівок в комірці Пеннінга з секційним анодом, визначено вплив геометрії пристрою розпилення на рівномірність плівок по товщині. In this work give the optimization of sputtered film thickness distribution on planar surfaces results for Penning’s cell.