Невінський, Д. В.Павлиш, В. А.Закалик, Л. І.Лебідь, С. Ю.2016-01-192016-01-192015Невінський Д. В. Нанорозмірні хвилеводи поверхневих плазмон-поляритонів, отримані методом оптичної літографії / Д. В. Невінський, В. А. Павлиш, Л. І. Закалик, С. Ю. Лебідь // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Радіоелектроніка та телекомунікації : збірник наукових праць. – 2015. – № 818. – С. 242–249. – Бібліографія: 16 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31074Запропоновано метод поетапної оптичної літографії з використанням як джерела світловипромінювальних діодів (СВД) з довжинами хвиль 410 нм та 365 нм для отримання діелектрично-неоднорідних хвилеводів. Досліджено поширення поверхневих плазмон-поляритонів у разі збудження початку хвилевода за допомогою лазера на довжині хвилі 632,8 нм. Отримано зображення Фур’є, яке підтверджує виникнення поверхневого плазмон-поляритона. The paper presents a method of phased optical lithography using as source, lightemitting diodes (LED) with wavelengths of 410 nm and 365 nm to form inhomogeneous dielectric waveguides. Distribution of surface plasmon polaritons, at the beginning of the excitation of the waveguide with 632.8 nm laser was studied. Fourier image confirming occurrence of surface plasmon polaritons was obtained.uaдіелектрично-неоднорідна структурананорозмірний хвилевідплазмон-поляритонова хвиляоптична літографіясвітловипромінювальний діодdielectric inhomogeneous structurenanoscale waveguidesplasmonpolaritons waveoptical photolithographylight-emitting diodelight polarizationArticle