Mladlenov, GeorgiyKoleva, ElenaYakymenko, YuriySpivak, ViktorBogdan, OleksandrOrlov, Anatoliy2011-02-112011-02-112010Nanotechnology and nanoscaled materials for microsystems application / Georgiy Mladlenov, Elena Koleva, Yuriy Yakymenko, Viktor Spivak, Oleksandr Bogdan, Anatoliy Orlov // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 354–355. – Bibliography: 5 titles.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7378stages of formation and some perspective aspects of nanotechnology development, in particular, nanoelectronics, getting nanomaterials and microsystems device is analyzed in this report.enanoelectronicssynthesis Of Nanostructureelectronic and Ion Lithographicthin Tapesmicrosystemsresonatorspiezoelectrics DeviceArticle