Karkulovskyi, B.Karkulovskyy, V.Kryvyy, R.Panchak, R.Pauchok, O.2016-02-242016-02-242015Application of structural matrices for the simulation of mems devices / B. Karkulovskyi, V. Karkulovskyy, R. Kryvyy, R. Panchak, O. Pauchok // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 53–56. – Bibliography: 3 titles.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31391Розглянуто підхід до моделювання МЕМС пристроїв із використанням методу структурних матриць. Розроблено структуру підсистеми для визначення основних характеристик широкого класу пристроїв. In the article the approach to modeling of MEMS devices using the method of structural matrices is presented. The structure of the subsystem to determine the basic characteristics of a broad class of devices.enМЕМС пристрійматематична модельдиференціальне рівнянняструктурні матриціMEMS devicemathematical modeldifferential equationstructural matricesArticle