Mladlenov, GeorgiyKoleva, ElenaYakimenko, YuriySpivak, ViktorBogdan, Alexander2011-02-142011-02-142010Some perspective aspects of nanotechnology development / Georgiy Mladlenov, Elena Koleva, Yuriy Yakimenko, Viktor Spivak, Alexander Bogdan // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, компютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 368–369. – Bibliography: 7 titles.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7384stages of formation and some perspective aspects of nanotechnology development, in particular, nanoelectronics and getting nanomaterials is analyzed in this report.ennanoelectronicssynthesis of nanostructureelectronic and ion lithographicthin tapesmicromechanismsArticle