Логуш, О. І.2010-06-232010-06-232009Логуш О. І. Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки / О. І. Логуш // Дванадцята відкрита науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету “Львівська політехніка” з проблем електроніки : тези доповідей, 7–9 квітня 2009 року / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2009. – С. 42.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/5761uaНаслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладкиArticle