Мищишин, В. М.Богдановський, Ю. М.2011-06-082011-06-082003Мищишин В. М. Богдановський Ю.М. Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору / В. М. Мищишин, Ю. М. Богдановський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2003. – № 491 : Елементи теорії та прилади твердої електроніки. – С. 86–90. – Бібліографія: 9 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/9757Оптимізовано технологію виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) бору методом повного факторного експерименту. Досліджено вплив дисперсності і процентного вмісту компонентів дифузанту на максимальну температуру експлуатації ТПД бору. Optimization of technology for production of solid planar sources (SPS) of boron has been made by a method of full factor experiment. The influence of a dispersivity and percentage contents of components for a diffusant has been investigated on maximum exploitation temperature of SPS of boron.uaОптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел боруArticle