Приладно-технологічне моделювання нанорозмірних тривимірних КНІ-структур - Дружинін, А. О.; Когут, І. Т.; Голота, В. І.; Довгий, В. В. (Видавництво Львівської політехніки, 2011)
Проведено комплексні дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних сенсорів тиску на основі ниткоподібних кристалів кремпію, працездатних в умовах кріогенних та високих температур. В основу конструкції сенсора покладено систему мембрана – шток – балка з універсальним тензомодулем. Наведено вихідні характеристики розроблених сенсорів. Complex studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors on the basis of silicon whiskers operating at cryogenic and high temperatures were carried out. The sensor’s design is based on the diaphragm – rod – beam system with the universal strain unit. Output characteristics of the developed sensors are presented.
Instrument technological design of nanoscaled three-dimensijnal soi-structures
Keywords: тензорезистивні сенсори тиску; ниткоподібні кристали; piezoresistive pressure sensore sensors; whiskers