Kushnir, YurijLobur, Mykhaylo2010-10-042010-10-042010Kushnir Y. Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon / Y. Kushnir, M. Lobur // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 51. – Bibliography: 1 title.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/6198This paper presents an alternative design solution for a piezoelectric sensor based on two plates separated by a polysilicon solid body.enMEMSaccelerometerpiezoelectric effectFEMANSYSArticle