Kalita, WlodzimierzPotencki, Jerzy2011-05-302011-05-302000Kalita W. Prospects in development of volume microelectronics structures / Wlodzimierz Kalita, Jerzy Potencki // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 393 : Елементи теорії та прилади твердої електроніки. – С. 78–85. – Бібліографія: 15 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/9370Contemporary development trends in technology of integrated circuits have been presented especially taking into account a role of third dimension for increase in integration scale and functional possibilities of ICs. Розглянуто сучасні тенденції розвитку технології інтегральних схем, особливу увагу приділено ролі тривимірних структур, які дозволяють збільшувати масштаб інтеграції і функціональні можливості інтегральних схем.enArticle