Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу емнісних акселерометрів - Теслюк, В. М.; Каркульовський, Б. В. (Видавництво Львівської політехніки, 2010)
Досліджено вплив конструктивних особливлстей анкерів на вихідні параметри ємнісних конструкцій інтегральних акселерометрів. The article analyzes anchors influence of structural features on capacitive accelerometers integral structures output parameters.
Keywords: ємнісний акселерометр; МЕМС; анкер; capacitive accelerometer; МЕМS; anchor