Теслюк, В. М.Каркульовський, Б. В.2011-02-222011-02-222010Теслюк В. М. Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу емнісних акселерометрів / В. М. Теслюк, Б. М. Каркульовський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 685 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 83–87. – Бібліографія: 4 назви.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7473Досліджено вплив конструктивних особливлстей анкерів на вихідні параметри ємнісних конструкцій інтегральних акселерометрів. The article analyzes anchors influence of structural features on capacitive accelerometers integral structures output parameters.uaємнісний акселерометрМЕМСанкерcapacitive accelerometerМЕМSanchorArticle