Nevliudov, IgorBortnikova, ViktoriiaChala, OlenaMaksymova, Svitlana2019-06-242019-06-242018-10-192018-10-19Modeling MEMS membranes characteristics / Igor Nevliudov, Viktoriia Bortnikova, Olena Chala, Svitlana Maksymova // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 61–68.978-966-941-229-4https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/4521961-68enConference Abstract© Національний університет «Львівська політехніка», 20188Modeling MEMS membranes characteristics / Igor Nevliudov, Viktoriia Bortnikova, Olena Chala, Svitlana Maksymova // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 61–68.