Гумен, І. С.Копцев, П. С.Кость, Я. Я.2017-02-082017-02-082004Гумен І. С. Моделювання складу газової фази системи InAs-Sb-HCL для визначення оптимальних умов вирощування мікрокристалів твердого розчину InAsixSbx / І. С. Гумен, П. С. Копцев, Я. Я. Кость // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 513 : Електроніка. – С. 54–58. – Бібліографія: 13 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/35772Подано модель газової фази для вирощування мікрокристалів твердого розчину InAsixSbx. Визначено якісну залежність складу газової фази від технологічних параметрів. Отримані мікрокристали твердого розчину InAsixSbx, експериментальна перевірка підтвердила адекватність моделі. The model of the gas phase for the InAsixSbx solid solution microcrystal growth was presented. The qualitative dependence of the gas phase proportion upon the technological parameters is determined. The microcrystals of the InAsi.xSbx solid solution were obtained and the experimental testing confirmed model adequacy.uaArticle