Кремінь, В. Т.Сметана, А. С.2011-06-162011-06-162004Кремінь В. Т. Універсальний ПІД-терморегулятор / В. Т. Кремінь, А. С. Сметана // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2004. – № 523 : Комп’ютерні системи та мережі. – С. 80-88. – Бібліографія: 9 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/9879Наведено мікроелектромеханічні пристрої для радіочастотних систем (RF МЕМS). Описано використання МЕМS резонаторів. Наведені висновки та рекомендації. In this paper mechanical model of micromechanical devices used in RF fiters presented, modelling and simulation carried out in electrical an d mechanicla domains.uaArticle