Лобур, М. В.Свірідова, Т. В.Теслюк, В. М.2020-11-162020-11-162005-03-012005-03-01Лобур М. В. Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем / М. В. Лобур, Т. В. Свірідова, В. М. Теслюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005. — № 534 : Радіоелектроніка та телекомунікації. — С. 147–152. — (Математичне моделювання та комп’ютерні технології).https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/55218Наведено основні підходи щодо проектування мікроелектромеханічних актюаторів; рівняння для механічної та електричної моделей мікроактюаторів. Проведено дослідження кореляційних залежностей між конструктивними параметрами мікрорезонатора та його вихідними характеристиками. Як результат подано матрицю коефіцієнтів кореляції та надано рекомендації щодо проектування мікрорезонаторів.In this paper main aspects of microelectromechanical actuators design are presented. Equations for mechanical and electrical model are carried out Correlation dependences of mechanical and electrical parameters are investigated. As result matrix of correlation is figure out and recommendations for successful design are given.147-152ukArticle© Національний університет “Львівська політехніка”, 2005© Лобур М. В., Свірідова Т. В., Теслюк В. М., 20056621.3.049Lobur M. V. Analiz koreliatsiinykh zalezhnostei mizh mekhanichnymy i elektrychnymy parametramy mikrovbudovanykh system / M. V. Lobur, T. V. Sviridova, V. M. Tesliuk // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2005. — No 534 : Radioelektronika ta telekomunikatsii. — P. 147–152. — (Matematychne modeliuvannia ta kompiuterni tekhnolohii).