Матвійків, М. Д.Лобур, М. В.Теслюк, В. М.Матвійків, Т. М.2015-12-212015-12-212006Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах / М. Д. Матвійків, М. В. Лобур, В. М. Теслюк, Т. М. Матвійків // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2006. – № 557 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 20–24. – Бібліографія: 3 назви.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/30730Проаналізовано доцільність побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем (МЕМСів) на активних напівпровідникових елементах–діодах та транзисторах. Analyzed expediency the structure of the microelectromechanical systems (MEMS) sensors on the active semiconductors - diodes and the transistors.uaArticle