Свірідова, Т.2017-04-062017-04-062003Свірідова Т. Підходи до проектування та моделювання мікроактуаторів з використанням САПР ANSYS та CFD ACE + / Т. Свірідова // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2003. – № 487 : Електроенергетичні та електромеханічні системи. – С. 208–211.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/37199Розглянуті підходи щодо проектування МЕМС пристроїв, наведені приклади таких пристроїв та результати моделювання у системах ANSYS та CFD ACE +. This paper present overview of design and simulation methods of MEMS devices, examples of devices are presented, results of simulations are carried out using ANSYS and CFD ACE + software.uaПідходи до проектування та моделювання мікроактуаторів з використанням САПР ANSYS та CFD ACE +Article