Дружинін, Анатолій ОлександровичКогут, Ігор ТимофійовичХоверко, Юрій Миколайович2019-10-252019-10-252013Дружинін А. О. Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки : монографія / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, Ю. М. Ховерко. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – 232 с.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45467Проаналізовано сучасні методи отримання структур кремній-на-ізоляторі. Наведено результати комплексного дослідження електропровідності, магнітоопору, п’єзоопору полікристалічного кремнію на напівпровідникових підкладках у широкому інтервалі температур, за впливу сильних магнітних полів і деформацій, що використано для створення сенсорів механічних і теплових величин на їх основі. Визначено конструктивні особливості для інтеграції різних типів сенсорів на одному кристалі під час створення мікросистем, а також методи покращання вимірювальних характеристик сенсорів механічних і теплових величин на основі полікремнієвих шарів у структурах кремній-на-ізоляторі. Призначено для наукових та інженерно-технічних працівників та студентів, які навчаються за напрямом “Мікро- та наноелектроніка”, а також широкого загалу спеціалістів у галузі сенсорної електроніки та мікроелектроніки.ukMonograph Дружинін А.О., Когут І.Т., Ховерко Ю.М., 2013 Національний університет “Львівська політехніка”, 2013232621.315.592