Курило, І. В.Рудий, І. О.Лопатинський, І. Є.Фружинський, М. С.Вірт, І. С.Потера, П.Лука, Г.2012-02-202012-02-202011Структурні та оптичні властивості тонких плівок ZnO ТА ZnMnO / І. В. Курило, І. О. Рудий, І. Є. Лопатинський, М. С. Фружинський, І. С. Вірт, П. Потера, Г. Лука // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2011. – № 708 : Електроніка. – С. 21–30. – Бібліографія: 15 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/11529Наведено результати досліджень структури та оптичних властивостей тонких плівок ZnO та ZnMnO. Методом імпульсного лазерного осадження в інтервалі температур 300–473 K отримано плівки різної товщини на підкладки зі скла, Al2O3 та KCl у вакуумі 1×10-5 Торр. Товщина плівок становила 0.5–1 мкм залежно від числа імпульсів лазера. Структуру масивного матеріалу мішені досліджено методом Х-променевої дифрактометрії. Структуру плівок досліджували методом дифракції електронів високих енергій на проходження. Досліджено оптичне пропускання, оптичне поглинання та фотолюмінесценцію плівок ZnO та ZnMnO, осаджених за різних температур. The results of experimental investigation of structural and optical properties of ZnO and ZnMnO films are presented in this work. The films of ZnO and ZnMnO of different thickness were obtained on Al2O3, glass and KCl substrates in vacuum of 1×10-5 Torr by the pulsed laser deposition method. The samples were obtained by the substrate temperature 300–473 K. A thickness of films was in the range of 0.5–1 μm depending on the number of laser pulses. The structure of target bulk materials was investigated by X-ray diffraction method. A structure of laser deposited films was investigated by the transmission high-energy electron diffraction method. The light transmission, absorption and photoluminescence spectra of ZnO and ZnMnO deposited at various temperatures films were investigated.uaоксид цинкутонкі плівкиструктураоптичні властивостіzinc oxidethin filmsstructureoptical propertiesArticle