Smerklo, LubomyrShkoropad, VasylZubkov, AnatolijKuchmij, Galyna2018-08-282018-08-282002The analysis of technologycal methods for preparation of reflecting grading for devices based on surface acoustic waves / L. Smerklo, V. Shkoropad, A. Zubkov, G. Kuchmij // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 458 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 176–179. – Bibliography: 3 titles.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/42539The formation methods for reflecting grooves with vertical walls and depth of up to 7 are analyzed and optimized at the paper.enreflecting gradingsurface acoustic wavetechnologyArticle© Lubomyr Smerklo, Vasyl Shkoropad, Anatolij Zubkov, Galyna Kuchmij, 2002176–179