Николишин, М. Й.2016-09-082016-09-082008Николишин М. Й. Оцінки функціонування та точності вимірювання площ мікрооб’єктів скануючим оптичним мікроскопом / М. Й. Николишин // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2008. – № 618 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 16–21. – Бібліографія: 3 назви.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/33959Розглянуто оцінку функціонування скануючого оптичного мікроскопа, а також його точності під час вимірювання площ мікрооб’єктів. Для покрокового сканування досліджуваного об’єкта, яке використовується у скануючому оптичному мікроскопі, проаналізовано чинники, що впливають на точність вимірювання. Estimation of scanning optical microscope functioning is reviewed as well as its precision at microobjects squares measuring. Factors, influencing to the measuring precision at specimen under investigation step scanning used in scanning optical microscope are analyzed.uaArticle