Berezhansky, Volodymyr2012-09-122012-09-122012Berezhansky V. New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization / Volodymyr Berezhansky // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХІ Міжнародної конференції TCSET2012, присвяченої 60-річчю заснування радіотехнічного факультету у Львівській політехніці, 21-24 лютого 2012 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 545. – Bibliography: 2 titles.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/14231Redistribution of doping during diffusive-oxidizing processes is simulated. The optimal technological conditions of diffusive oxidizing processes is determined.enquasilinear processThe Deale-Grove’s modelinterphase bordernumerical methodsdiffusive-oxidizing processesArticle