Бобицъкий, Я. В.Котлярчук, Б. К.Попович, Д. І.Середницький, А. С.2018-03-122018-03-122002Одержання тонких фосфорних шарів нітриду алюмінію лазерно-магнетронним напиленням / Я. В. Бобицъкий, Б. К. Котлярчук, Д. І. Попович, А. С. Середницький // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 455 : Електроніка. – С. 3–9. – Бібліографія: 8 назв.https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/39577Подані результати експериментальних досліджень процесів імпульсного реактивного лазерно-магнетронного напилення тонких шарів AIN, AlN:Mn та формування їх структурних і катодолюмінесцентних характеристик. Встановлено, що основними технологічними факторами, які визначають властивості конденсату, є густина потужності лазерного імпульсу, температура підкладки, тиск азоту в реакційній камері та потужність паро-плазмового розряду. Проведено комплекс експериментальних робіт із вивчення механічних напружень у системі AlN - Al2O3 аналізом пружних деформацій. We report on the results of experimental investigations of processes of pulse lasermagnetron reactive deposition and formation structural and cathodoluminescent characteristics of AlN, AlN:Mn thin films. It was established that, the main factors which determine condensate properties are laser pulse density, substrate temperature, nitrogen pressure in the reactive chamber and energy of vapor-plasma discharge. Report on complex of experimental works on investigation of mechanical stresses in AlN - Al2O3 system was conducted by analysis of elastic deformation.ukArticleБобицький Я. В., Котлярчук Б. К., Попович Д. І., Середницький А. С.3-9621.315.592