Browsing by Author "Горбулик, В. І."
Now showing 1 - 1 of 1
- Results Per Page
- Sort Options
Item Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем(Видавництво Національного університету «Львівська політехніка», 2004) Дорош, Н. В.; Кучмій, Г. Л.; Смеркло, Л . М.; Горбулик, В. І.Проаналізовано методи лазерно-стимульованого осадження тонких плівок та наведено оптимальні режими лазерного осадження міді та нікелю. In a paper the methods of laser-induced precipitation of thick film were carried out. The optimal regimes of laser precipitation of copper and nickel were presented.