Browsing by Author "Литвін, М. О."
Now showing 1 - 1 of 1
- Results Per Page
- Sort Options
Item Числове моделювання росту шарів арсеніду галію у хлоридній газотранспортній системі(Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2001) Воронін, В. О.; Губа, С. К.; Литвін, М. О.; Рибачук, В. Г.Описуються математичні моделі росту шарів арсеніду галію у хлоридній газотранспортній системі в режимах, при яких швидкість росту визначається швидкістю масодоставки реагентів шару, що вирощується на підкладці, дослід¬жуються газодинамічні процеси в реакторах і ріст шарів. Mathematical models of gallium arsenide crystal growth in VPE reactors are considered when the crystal growth rate is controlled by the mass-transfer of the reagents to the substrate. Gas flows is reactors and thin films growth are investigated.