(Видавництво Львівської політехніки, 2022-03-01) Мельник, І.; Тухай, С.; Скрипка, М.; Суржиков, М.; Швед, І.; Melnyk, I.; Tuhai, S.; Skrypka, M.; Surzhykov, M.; Shved, I.; Національний технічний університет України “Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського”; National Technical University of Ukraine “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”
Cтаття присвячена проблемі розрахунку величини струму несамостійого дугового розряду, який запалюється та підтримується в парах металу та активних газах для забезпечення хімічної реакції між ним у
технологічному процесі напарювання тонких покриттів. Отримані співвідношення в основному базуються на рівнянні Пуассона для визначення розподілу електричного поля, рівнянні Менделєєва – Клапейрона для визначення концентрації іонів у насичених парах металів, а також на рівнянні неперервності струму в газовому розряді. Сформована система рівнянь розподілу електричного потенціалу та розрядного струму в просторових координатах перетворюється на кубічне рівняння, яке розв’язано
аналітично. Наведено та проаналізовано отримані результати моделювання.
