Method of research of electro-physical characteristics of semiconductor structures
Loading...
Files
Date
2010
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
In this paper the models defect in GaAs with
multicharge implantation are given.
Description
Keywords
multicharge implantation, cluster, pores, cracks, dislocation
Citation
Novosyadly S. Method of research of electro-physical characteristics of semiconductor structures / Stepan Novosyadly, Taras Sorokhtej // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 351. – Bibliography: 2 titles.