Дослідження точності визначення дійсних величин збільшення (масштабу) цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope) фірми JEOL

Abstract

С помощью измерений цифровых РЭМ-изображений специального тест-объекта с разрешением r=1425 лин/мм, полученных на РЭМ JCM-5000 (NeoScope), определены их истинные увеличения (масштаб) вдоль осей x и y РЭМ-снимков в диапазоне увеличений РЭМ от 1000х до 40000х (крат). Установлено, что масштабные искажения цифровых РЭМ-изображений, полученных на этом типе РЭМ, не превышают ± 1 % независимо от величины увеличения и осей снимка. Using measurements of digital SEM image of a special test object with a resolution of r = 1425 lin/mm, obtained by SEM JCM-5000 (NeoScope), determined their actual increase (scale) along the axes x and y-SEM images in the range SEM increases from 1000x to 40000x. Found that large-scale distortion of digital SEM images obtained on this type of SEM does not exceed ± 1 %, regardless of size increase and make the picture.