Дослідження точності визначення дійсних величин збільшення (масштабу) цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope) фірми JEOL
No Thumbnail Available
Date
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
С помощью измерений цифровых РЭМ-изображений специального тест-объекта с разрешением r=1425 лин/мм, полученных на РЭМ JCM-5000 (NeoScope), определены их истинные увеличения (масштаб) вдоль осей x и y РЭМ-снимков в диапазоне увеличений РЭМ
от 1000х до 40000х (крат). Установлено, что масштабные искажения цифровых РЭМ-изображений, полученных на этом типе РЭМ, не превышают ± 1 % независимо от величины увеличения и осей снимка.
Using measurements of digital SEM image of a special test object with a resolution of r = 1425 lin/mm, obtained by SEM JCM-5000 (NeoScope), determined their actual increase (scale) along the axes x and y-SEM images in the range SEM increases from 1000x
to 40000x. Found that large-scale distortion of digital SEM images obtained on this type of SEM does not exceed ± 1 %, regardless of size increase and make the picture.
Description
Keywords
Citation
Іванчук О. Дослідження точності визначення дійсних величин збільшення (масштабу) цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope) фірми JEOL / О. Іванчук // Геодезія, картографія і аерофотознімання : міжвідомчий науково-технічний збірник / Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України, Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор К. Р. Третяк. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – Випуск 76. – С. 80–84. – Бібліографія: 12 назв.