Designing of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer

Simple item page
dc.citation.conferenceXXVI Міжнародна українсько-польська науково-технічна конференція “САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання”
dc.citation.epage56
dc.citation.journalTitleСАПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції
dc.citation.spage48
dc.contributor.affiliationLodz University of Technology
dc.contributor.authorMaj, Cezary
dc.contributor.authorSzermer, Michał
dc.coverage.placenameЛьвів
dc.coverage.temporal19-20 жовтня 2018 року, Львів
dc.date.accessioned2019-06-24T14:06:56Z
dc.date.available2019-06-24T14:06:56Z
dc.date.created2018-10-19
dc.date.issued2018-10-19
dc.format.extent48-56
dc.format.pages9
dc.identifier.citationMaj C. Designing of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer / Cezary Maj, Michał Szermer // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 48–56.
dc.identifier.citationenMaj C. Designing of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer / Cezary Maj, Michał Szermer // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 48–56.
dc.identifier.isbn978-966-941-229-4
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45217
dc.language.isoen
dc.publisherВидавництво Львівської політехніки
dc.relation.ispartofСАПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018
dc.relation.references[1] J. Korvink, O. Paul, “MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications”, Springer Berlin Heidelberg, 2006
dc.relation.references[2] M. Szermer, J. Nazdrowicz, W. Zabierowski, „FEM Analysis of a 3D Model of a Capacitive Surface-micromachined Accelerometer 2017”, 14th International Conference The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM), 21-25 February 2017 Polyana-Svalyava (Zakarpattya), Ukraine
dc.relation.references[3] Nazdrowicz J, “SIMULINK and COMSOL Software Application for MEMS Accelerometer Modeling and Simulation”, in Proc. International Conference MIXDES, Bydgoszcz, Poland, pp. 429-434, June 22-24, 2017S
dc.relation.references[4] M. Szermer, P. Zając, Ł. Starzak, “Influence of Geometry scaling on Comb-drive Accelerometer Performance”, In Proc. of XIVth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, April 18-22, 2018, Polyana- Svalyava, Ukraine
dc.relation.references[5] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86‐90.
dc.relation.references[6] W. Young, R. Budynas, A. Sadegh, “Roark's Formulas for Stress and Strain”, 7th edition, McGraw-Hill, 2002
dc.relation.references[7] https://www.xfab.com/mems0/technology-innovation/open-platformprocesses/inertial-sensors/
dc.relation.referencesen[1] J. Korvink, O. Paul, "MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications", Springer Berlin Heidelberg, 2006
dc.relation.referencesen[2] M. Szermer, J. Nazdrowicz, W. Zabierowski, "FEM Analysis of a 3D Model of a Capacitive Surface-micromachined Accelerometer 2017", 14th International Conference The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM), 21-25 February 2017 Polyana-Svalyava (Zakarpattya), Ukraine
dc.relation.referencesen[3] Nazdrowicz J, "SIMULINK and COMSOL Software Application for MEMS Accelerometer Modeling and Simulation", in Proc. International Conference MIXDES, Bydgoszcz, Poland, pp. 429-434, June 22-24, 2017S
dc.relation.referencesen[4] M. Szermer, P. Zając, Ł. Starzak, "Influence of Geometry scaling on Comb-drive Accelerometer Performance", In Proc. of XIVth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, April 18-22, 2018, Polyana- Svalyava, Ukraine
dc.relation.referencesen[5] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86‐90.
dc.relation.referencesen[6] W. Young, R. Budynas, A. Sadegh, "Roark's Formulas for Stress and Strain", 7th edition, McGraw-Hill, 2002
dc.relation.referencesen[7] https://www.xfab.com/mems0/technology-innovation/open-platformprocesses/inertial-sensors/
dc.relation.urihttps://www.xfab.com/mems0/technology-innovation/open-platformprocesses/inertial-sensors/
dc.rights.holder© Національний університет «Львівська політехніка», 2018
dc.titleDesigning of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer
dc.typeConference Abstract

Files

Original bundle

Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
2018_Maj_C-Designing_of_Z_axis_comb_drive_48-56.pdf
Size:
1.88 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download
Thumbnail Image
Name:
2018_Maj_C-Designing_of_Z_axis_comb_drive_48-56__COVER.png
Size:
997.35 KB
Format:
Portable Network Graphics
Download

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
license.txt
Size:
2.96 KB
Format:
Plain Text
Description:
Download

Collections

САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання. – 2018 р.