Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки
dc.contributor.author | Логуш, О. І. | |
dc.date.accessioned | 2010-06-23T11:06:26Z | |
dc.date.available | 2010-06-23T11:06:26Z | |
dc.date.issued | 2009 | |
dc.identifier.citation | Логуш О. І. Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки / О. І. Логуш // Дванадцята відкрита науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету “Львівська політехніка” з проблем електроніки : тези доповідей, 7–9 квітня 2009 року / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2009. – С. 42. | uk_UA |
dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/5761 | |
dc.language.iso | ua | uk_UA |
dc.publisher | Видавництво Національного університету “Львівська політехніка” | uk_UA |
dc.title | Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |