Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки

dc.contributor.authorЛогуш, О. І.
dc.date.accessioned2010-06-23T11:06:26Z
dc.date.available2010-06-23T11:06:26Z
dc.date.issued2009
dc.identifier.citationЛогуш О. І. Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки / О. І. Логуш // Дванадцята відкрита науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету “Львівська політехніка” з проблем електроніки : тези доповідей, 7–9 квітня 2009 року / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2009. – С. 42.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/5761
dc.language.isouauk_UA
dc.publisherВидавництво Національного університету “Львівська політехніка”uk_UA
dc.titleНаслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладкиuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
38.pdf
Size:
164.91 KB
Format:
Adobe Portable Document Format

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: