Особливості впливу лазерних ударних хвиль на приповерхневі шари та границі розділення твердих тіл
No Thumbnail Available
Date
2003
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Вісник Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
Дослідження накопичення дефектів на поверхні кремнію, екранованого від теплової дії, залежно від густини потоку та сумарної поглинутої енергії лазерного випромінювання, в режимі генерації ударних хвиль. Виявлено утворення точкових дефектів, що відпалюються при 450 К. Показано, що електроопір та вольт-амперні характеристики границі розділення та поверхня твердих тіл можуть керовано змінюватися за допомогою лазерних ударних хвиль. Acumullation of defects as a function of the absorbed energy flow density resulting from LSW generation on a Si crystal surface, protected with a heat screen has been investigated. Formation and reduction of point defects at 450K was observed. It was demonstrated that LSW processing can selectively modify resistance IU characteristic of surface and interface layers in solids.
Description
Keywords
Citation
Берченко М. М. Особливості впливу лазерних ударних хвиль на приповерхневі шари та границі розділення твердих тіл / М. М. Берченко, Б. П. Ковалюк, Ю. М. Нікіфоров, В. С. Яковина // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2003. – № 482 : Електроніка. – С. 33–38. – Бібліографія: 13 назв.