Низькотемпературна рідиннофазна епітаксія p-Si шарів в складі p-i-n Si високовольтних сполук
Loading...
Files
Date
2011
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Description
Keywords
Citation
Низькотемпературна рідиннофазна епітаксія p-Si шарів в складі p-i-n Si високовольтних сполук / М. М. Ваків, В. Р. Тимчишин, С. І. Круковський, Б. О. Рейкін // Чотирнадцята відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету "Львівська політехніка" з проблем електроніки : тези доповідей, 5–7 квітня 2011 р., Львів / Національний університет "Львівська політехніка". – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2011. – С. 16.