Технологія отримання віскерів GaAs у відкритому проточному реакторі
No Thumbnail Available
Date
2010
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Наведена технологія отримання мікровіскерів GaAs в проточному реакторі. Технологія дає змогу контролювати діаметри віскерів у діапазоні від десятків нанометрів до десятків мікрон. Запропонована модель, яка пояснює основні етапи осадження матеріалу з парової фази. Основними положеннями моделі є механізм пара-рідина-кристал і конкуруючий ріст нанодротин. The technology for obtaining GaAs microwhiskers in flow reactor is presented. The technology allows controlling whiskers diameters in the range from tens of nanometers to tens
of microns. The model explaining the basic stages of material deposition from vapour phase is suggested. The basic principles of the model are the vapour-liquid-solid mechanism and competitive nanowires growth.
Description
Keywords
арсенід галію, нановіскер (нанодротина), віскер, механізм ПРК, парогазова фаза, проточний реактор, дозрівання Освальда, gallium arsenide, nanowhisker (nanowire), whisker, VLS mechanism, gas-vapor phase, flow reactor, Ostwald ripening
Citation
Технологія отримання віскерів GaAs у відкритому проточному реакторі / І. А. Большакова, Д. М. Заячук, Я. Я. Кость, О. Ю. Макідо, Ф. М. Шуригін // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 681 : Електроніка. – С. 75–79. – Бібліографія: 7 назв.