Особливості застування скануючого оптичного мікроскопа на основі електронно-променевої трубки

Abstract

Розглянуто питання юстування електростатичної фокусуючої лінзи електронно-променевої трубки скануючого оптичного мікроскопа. Запропоновано спосіб юстування з використанням квадрупольних магнітних полів. Наведено алгоритм процедури юстування. The question adjustments an electrostatic focusing lens of an electron beam tube of a scanning optical microscope is considered. The way adjustment with use quadrupole magnetic fields is offered. The algorithm of procedure adjustment is resulted.