Моделювання кінетичних процесів газофазної епітаксії

Abstract

У статті запропонована методологія узагальненого підходу до моделювання кінетичних процесів формування газової фази, перенесення складових речовин у полі нерівноважних концентрацій в умовах неоднорідного температурного поля. Для вирішення поставленого завдання використовували імовірнісні методи розрахунку характеристик енерго-та масопереносу, які базуються на розв’язуванні узагальненого рівняння Фоккера-Планка з врахуванням кінцевої швидкості рухаючих частинок. Знайдено аналітичні вирази для ключової функції густини імовірності у вигляді функції Гріна, що дозволило представити систему рівнянь дифузії в інтегральному вигляді. Розв’язок отриманих рівнянь для конкретних систем і реакторів дозволяє визначити нерівноважні концентрації компонентів як функцію координат і часу в об’ємі реактора. The generalized methodology for kinetic modeling processes of gas phase formation and transport processes in chemical systems at the field of no nequilibrium species as well as in the energy field is proposed. The probability methods of accounting the characteristics of energy- and mass-transport process based on the decision of Fokker - Plank common diffusion equation are used to solve this task. Therefore final rates of particles transport are taken into account. Analytical expression of key density probability function is found as Green's function. It has allowed presenting the system of the diffusion equations in an integrated form. The solution of the given equations for concrete transport system and reactors allows determining species real concentration as well as spacial-temporal dependencies in the volume of rector.