Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor
dc.citation.conference | XXVI Міжнародна українсько-польська науково-технічна конференція “САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання” | |
dc.citation.epage | 104 | |
dc.citation.journalTitle | САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції | |
dc.citation.spage | 95 | |
dc.contributor.affiliation | Lodz University of Technology | |
dc.contributor.author | Nazdrowicz, Jacek | |
dc.contributor.author | Jankowski, Mariusz | |
dc.coverage.placename | Львів | |
dc.coverage.temporal | 19-20 жовтня 2018 року, Львів | |
dc.date.accessioned | 2019-06-24T14:07:02Z | |
dc.date.available | 2019-06-24T14:07:02Z | |
dc.date.created | 2018-10-19 | |
dc.date.issued | 2018-10-19 | |
dc.format.extent | 95-104 | |
dc.format.pages | 10 | |
dc.identifier.citation | Nazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 95–104. | |
dc.identifier.citationen | Nazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 95–104. | |
dc.identifier.isbn | 978-966-941-229-4 | |
dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45225 | |
dc.language.iso | en | |
dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | |
dc.relation.ispartof | САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018 | |
dc.relation.references | [1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. “System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers”. Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922. | |
dc.relation.references | [2] G. L. Teodor, “The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop”, MEMSTECH, 2008. pp. 115-121. | |
dc.relation.references | [3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, “Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, ” in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588. | |
dc.relation.references | [4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375. | |
dc.relation.references | [5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Сommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430. | |
dc.relation.references | [6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90. | |
dc.relation.references | [7] C. Maj, A. Napieralski, “Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass”, 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50. | |
dc.relation.references | [8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: “Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer”. 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154. | |
dc.relation.references | [9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/. | |
dc.relation.referencesen | [1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. "System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers". Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922. | |
dc.relation.referencesen | [2] G. L. Teodor, "The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop", MEMSTECH, 2008. pp. 115-121. | |
dc.relation.referencesen | [3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, "Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, " in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588. | |
dc.relation.referencesen | [4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375. | |
dc.relation.referencesen | [5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Sommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430. | |
dc.relation.referencesen | [6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90. | |
dc.relation.referencesen | [7] C. Maj, A. Napieralski, "Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass", 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50. | |
dc.relation.referencesen | [8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: "Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer". 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154. | |
dc.relation.referencesen | [9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/. | |
dc.relation.uri | http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430 | |
dc.relation.uri | https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/ | |
dc.rights.holder | © Національний університет «Львівська політехніка», 2018 | |
dc.title | Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor | |
dc.type | Conference Abstract |
Files
License bundle
1 - 1 of 1