Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor

dc.citation.conferenceXXVI Міжнародна українсько-польська науково-технічна конференція “САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання”
dc.citation.epage104
dc.citation.journalTitleСАПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції
dc.citation.spage95
dc.contributor.affiliationLodz University of Technology
dc.contributor.authorNazdrowicz, Jacek
dc.contributor.authorJankowski, Mariusz
dc.coverage.placenameЛьвів
dc.coverage.temporal19-20 жовтня 2018 року, Львів
dc.date.accessioned2019-06-24T14:07:02Z
dc.date.available2019-06-24T14:07:02Z
dc.date.created2018-10-19
dc.date.issued2018-10-19
dc.format.extent95-104
dc.format.pages10
dc.identifier.citationNazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 95–104.
dc.identifier.citationenNazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 95–104.
dc.identifier.isbn978-966-941-229-4
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45225
dc.language.isoen
dc.publisherВидавництво Львівської політехніки
dc.relation.ispartofСАПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018
dc.relation.references[1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. “System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers”. Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922.
dc.relation.references[2] G. L. Teodor, “The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop”, MEMSTECH, 2008. pp. 115-121.
dc.relation.references[3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, “Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, ” in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588.
dc.relation.references[4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375.
dc.relation.references[5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Сommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430.
dc.relation.references[6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90.
dc.relation.references[7] C. Maj, A. Napieralski, “Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass”, 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50.
dc.relation.references[8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: “Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer”. 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154.
dc.relation.references[9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/.
dc.relation.referencesen[1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. "System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers". Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922.
dc.relation.referencesen[2] G. L. Teodor, "The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop", MEMSTECH, 2008. pp. 115-121.
dc.relation.referencesen[3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, "Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, " in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588.
dc.relation.referencesen[4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375.
dc.relation.referencesen[5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Sommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430.
dc.relation.referencesen[6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90.
dc.relation.referencesen[7] C. Maj, A. Napieralski, "Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass", 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50.
dc.relation.referencesen[8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: "Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer". 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154.
dc.relation.referencesen[9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/.
dc.relation.urihttp://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430
dc.relation.urihttps://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/
dc.rights.holder© Національний університет «Львівська політехніка», 2018
dc.titleElectrical model of vibratory micro angular velocity sensor
dc.typeConference Abstract

Files

Original bundle

Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
2018_Nazdrowicz_J-Electrical_model_of_vibratory_95-104.pdf
Size:
2.52 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Thumbnail Image
Name:
2018_Nazdrowicz_J-Electrical_model_of_vibratory_95-104__COVER.png
Size:
932 KB
Format:
Portable Network Graphics

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
2.96 KB
Format:
Plain Text
Description: