Дослідження вібраційних коливань MEMS-резонаторів при їх експлуатації

Abstract

Побудовано математичну модель дослідження амплітудо-частотних харак- теристик балки резонатора. Для побудови використано методи нелінійної механіки. В отри- маній математичній моделі враховано вплив зміни пружних характеристик матеріалу балки резонатора на її амплітуду та частоту коливань. Для визначення внутрішніх процесів, що відбуваються в матеріалі балки, використано закони Фойгта та Болотіна. На основі ма- тематичного моделювання встановлено, що збільшення пружної складової матеріалу балки резонатора призводить до зростання амплітуди коливань балки та зниження частоти її коливань.A mathematical model has been developed to study the amplitude-frequency characteristics of the resonator beam. Nonlinear mechanics methods were used in the modeling process. The model takes into account the influence of changes in the elastic properties of the beam material on its oscillation amplitude and frequency. To analyze the internal processes in the material, Voigt's and Bolotin's laws were applied. The modeling results showed that an increase in the elastic component of the beam material leads to a rise in the oscillation amplitude and a decrease in the oscillation frequency.