Польова характеристика сенсорів магнітного поля на розщеплених холлівських структурах

Abstract

Наведено аналіз польової характеристики сенсорів магнітного поля на розщеплених холлівських структурах. Характеризуючись рядом принципових переваг, зокрема, можливістю інтегрування у трикомпонентні (BX, BY, BZ) зонди магнітного поля з високою просторовою роздільною здатністю, такі розщеплені холлівські структури вимагають глибшого аналізу залежності вихідної напруги сенсора від вектора індукції магнітного поля. Запропоновано модель розщепленої холлівської структури, що описує паразитну магніторезистивну модуляцію польової характеристики, методику дослідження цієї модуляції та її кількісні параметри. Наводиться приклад застосування отриманих результатів під час калібрування трикомпонентних вимірювальних зондів магнітного поля. The work gives an analysis of the field characteristics of magnetic sensors on the splitted Hall structures. Having a number of advantages (including the capability to be integrated into three-component magnetic probes with high spatial resolution), such splitted Hall structures require further analysis of output voltage dependence on magnetic induction vector. Besides, this paper proposes a splitted Hall structure model describing the parasitic magnetoresisitive modulation of the field characteristic, the methodology of this modulation study and its numerical parameters. It is shown how to apply the obtained results when calibrating threecomponent magnetic probes.