(Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2004-02-18) Теслюк, В. М.; Лобур, М. В.; Раєвський, П. Ю.; Денисюк, П. Ю.; Національний університет “Львівська політехніка”
Запропоновано математичну модель інтегрального ємнісного сенсора. Для розв’язання рівнянь в часткових похідних використано метод скінченних різниць. Наведені результати залежності вихідних характеристик від геометричних параметрів мікросенсора та діелектричної проникності зовнішнього середовища.
