(Видавництво Львівської політехніки, 2015) Karkulovskyi, B.; Karkulovskyy, V.; Kryvyy, R.; Panchak, R.; Pauchok, O.
Розглянуто підхід до моделювання МЕМС пристроїв із використанням методу
структурних матриць. Розроблено структуру підсистеми для визначення основних
характеристик широкого класу пристроїв. In the article the approach to modeling of MEMS devices using the method of structural matrices is presented. The structure of the subsystem to determine the basic characteristics of a broad class of devices.
